摘要：本發明公開了一種補液裝置，包括：儲液罐、為所述儲液罐提供化學藥液的化學藥液供給管路、為所述儲液罐提供超純水的超純水供給管路、為所述儲液罐定量補給超純水的超純水定量補給管路和循環管路，所述循環管路的一端與所述儲液罐出液口連接，另一端連接所述儲液罐進口。本發明提供的補液裝置，可隨著化學藥液的反復使用，藥液的濃度變化，定時定量的補給，能夠維持一定的藥液濃度，從而保證工藝效果，操作簡單。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人初國超;何金群;王營營;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210387839.6
- 申請時間2012年10月12日
- 申請公布號CN102878429A
- 申請公布時間2013年01月16日
- 分類號F17D1/14(2006.01)I;
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