摘要：本發明公開了一種化學液分配系統，該系統包括分別與機臺相連的交替工作的兩套相同的子系統，所述子系統包括與在線混合單元相連的第一化學液通路和第二化學液通路，其中第一化學液通路包括依次連接的第一氣動閥、第一緩沖罐、第二氣動閥和計量泵，其中第二化學液通路包括依次連接的第三氣動閥、第二緩沖罐、第四氣動閥、隔膜泵和脈沖消除裝置，其中在線混合單元用于將所述第一化學液通路和第二化學液通路流出的化學液進行混合后傳輸至機臺。本發明可以避免由于廠端供液時壓力波動對化學液流量的影響，同時雙系統設計提高了設備的穩定性及配比比例精準度，易于實現。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人周傳霞;劉福生;何金群;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201310039423.X
- 申請時間2013年01月31日
- 申請公布號CN103090190A
- 申請公布時間2013年05月08日
- 分類號F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
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