摘要：本實用新型涉及一種多片比較片換位機構。該多片比較片換位機構包括比較片筒、撥盤、重疊放置于比較片筒內的比較片、以及位于撥盤下方的比較片接收筒。本實用新型的多片比較片換位機構通過在比較片筒內重疊放置比較片使得比較片機構所占面積減小，且放置比較片的數量大大增加，從而使整個機構的直徑大大縮小。這樣，整個機構的尺寸減小可以使工件盤上可裝載的被鍍工件的有效面積增大，提高生產效率，而且可以提高薄膜監控的精度，并降低對硬件系統的要求，容易實現對系統的自動控制。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人陳月增;李紅然;王紅雪;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請號CN200920110200.7
- 申請時間2009年07月24日
- 申請公布號CN201459236U
- 申請公布時間2010年05月12日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;
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