摘要：本發明提供了一種斜角入射沉積系統，包括圓柱狀的腔體，腔體的上方設有頂蓋，腔體內由下至上依次設有電子束蒸發器、環形液態氮存儲裝置以及樣品操作裝置；所述電子束蒸發器由腔體外伸入腔體內，電子束蒸發器位于腔體內的端部上設置蒸發源材料；所述環形液態氮存儲裝置用于冷卻操作裝置，環形液態氮存儲裝置上設有液氮進管和液氮出管，液氮進管和液氮出管分別延伸出頂蓋；環形液態氮存儲裝置中部設有氣動快門，用于控制蒸發源材料與樣品操作裝置之間的通路。本發明兩個軸向旋轉運動以及沉積高度的調整，形成不同沉積角度，得到了多種形態的微納米薄膜結構，很好解決了光學和電子刻蝕形成微納米薄膜費用高、適用材料有限、制作時間較長的缺點。
- 專利類型發明專利
- 申請人南京工業大學;
- 發明人殷晨波;唐光大;徐海涵;楊柳;吳禮峰;
- 地址210009 江蘇省南京市中山北路200號41號信箱
- 申請號CN201410015993.X
- 申請時間2014年01月14日
- 申請公布號CN103789743B
- 申請公布時間2015年09月16日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;
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