摘要：本實用新型公開了一種適應基片交接位置誤差的機械手傳遞裝置，由機械手和與之配套的基片托構成，其特點是在機械手的腕部安裝了變遠心順應機構，該變遠心順應機構能夠自動調整和適應機械手前部取托指和基片托配位時的位置誤差，從而順利完成基片的傳遞交接，因此采用本實用新型進行基片的傳遞，可減少監控元件的使用數量，同時簡化整套機械傳遞裝置的自動控制系統，從而大大降低設備制造和使用成本，并可顯著提高鍍膜產品的質量和成品率。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州碩光科技有限公司;
- 發明人吳向方;黃倫;
- 地址215000江蘇省蘇州市高新區玉山路1號
- 申請號CN200920142452.8
- 申請時間2009年04月15日
- 申請公布號CN201394832Y
- 申請公布時間2010年02月03日
- 分類號B25J1/00(2006.01)I;
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