摘要：本發明提供一種機械手晶圓定心裝置及方法，該裝置包括：高速IO采集電路，用于采集AWC傳感器信號，生成高速IO信號；FPGA模塊，用于將高速IO信號線與成串行中斷信號，輸出給嵌入式CPU模塊；該FPGA模塊還用于將嵌入式CPU模塊的地址數據轉換成對驅動器的控制信號輸出，以糾正機械手的位置；嵌入式CPU模塊，用于接收高速IO信號并鎖存伺服軸位置值，并根據伺服軸位置值計算出機械手傳輸晶圓過程中實際中心與示教中心的偏位，通過地址數據輸出控制指令。本發明提供的機械手晶圓定心裝置及方法集成多組高速IO信號采集電路，結構緊湊、故障點少、采集電路可靈活配置。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人褚明杰;曲道奎;徐方;劉世昌;鄒風山;楊奇峰;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201310566847.1
- 申請時間2013年11月13日
- 申請公布號CN104626151B
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號B25J9/18(2006.01)I;
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