摘要:本實用新型涉及一種轉子,尤其涉及一種用于分子泵的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子,包括轉子主體,轉子主體為中空筒體,其內部中心設置有轉軸安裝孔,轉子主體頂端直徑大于底端直徑,在轉子主體的外表面挖設有螺旋形牽引級溝槽,牽引級溝槽的深度從上到下逐漸變淺;每相鄰兩個螺旋形牽引級溝槽之間的槽壁設置成葉片;本實用新型根據氣體的物理特性,牽引級溝槽與分子泵融合到一體,既獲得了高抽速,又獲得了較大的壓縮比,另外,采用轉子主體頂端直徑大于底端直徑,使轉子頂端的葉片尺寸增大,即分子泵進氣端葉片尺寸增大,同時優化了轉子槽內壁的曲線,使轉子槽內壁曲線進一步內凹,從而提高了抽速,并減輕了轉子的重量,減小轉子對軸承的壓力。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人劉敏強;郁晉軍;董欣;于天化;
- 地址102600 北京市大興工業開發區前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請號CN201320578331.4
- 申請時間2013年09月18日
- 申請公布號CN203488434U
- 申請公布時間2014年03月19日
- 分類號F04D29/32(2006.01)I;