摘要：本發明公開了一種化學水浴沉積鍍膜反應器，應用于薄膜太陽能電池的制備工藝中，以制備CdS、ZnS或Zn(OH)等薄膜。該反應器包括，上邊框、硅膠墊、儲液槽、下邊框、蝶形螺栓等。本發明的超薄化學水浴反應器把化學水浴反應用溶液的用量降低到極點，大大降低了藥品用量帶來的成本以及廢液回收費用，鍍液量減少使水浴加熱消耗的熱量減少，節約了工序能耗；超薄的反應器使加熱速度加快，使工序節拍加快，可提高原有設備產能；反應速度加快的直接結果是使基片鍍膜工藝條件更加易于控制，更加均勻化，提高了鍍膜質量；反應器拆裝操作方便；更有利于工藝設備的小型化。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人韓彬;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201310045464.X
- 申請時間2013年04月02日
- 申請公布號CN104091852A
- 申請公布時間2014年10月08日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;
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