摘要：本發明提供一種CIGS薄膜太陽能電池刻劃設備，包括支撐底座、y向移動單元、x向移動單元、加工平臺、光路刻劃裝置、機械刻劃裝置及控制單元；光路刻劃裝置安裝在x向移動單元上，且其具有進行第一道刻劃的P1刻劃模塊和進行第四道刻劃的P4.1刻劃模塊；機械刻劃裝置設于x向移動單元的底端，且其具有進行第二道刻劃的P2刻劃模塊、進行第三道刻劃的P3刻劃模塊和進行第四道刻劃的P4.2刻劃模塊。由于該刻劃設備配置有光路刻劃裝置和機械刻劃裝置，可根據實際情況對CIGS薄膜太陽能電池的疊層在同一刻劃設備上進行刻劃，解決了當前的CIGS薄膜太陽能電池刻劃方式需要兩臺或以上刻劃設備才能完成刻劃操作的問題。
- 專利類型發明專利
- 申請人大族激光科技產業集團股份有限公司;
- 發明人陶尚輝;王振華;楊凱;黃秋香;謝建;高云峰;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區高新技術園北區新西路9號
- 申請號CN201410004969.6
- 申請時間2014年01月06日
- 申請公布號CN104766904B
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;B23K26/36(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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