摘要：本發明“光伏器件表面納米化干法制絨制備方法”屬于光伏太陽能電池片制絨技術領域，適用于所有以硅材料為主的太陽能電池片，包括單晶硅、多晶硅、準單晶和非晶硅。通過使用反應離子干法腐蝕儀對太陽能電池片表面進行刻蝕工藝，使表面產生納米化絨面，重新分布表面電子發射微米和納米結構，從而捕獲更多的太陽光能，有效提高金屬電極與硅表面接觸減小阻耗，優化鈍化層機構進一步減少電子空穴的重新結合帶來的損耗，使得電池片的反射光損失從300納米至1000納米波長的范圍內都在5％以下，同時起到了表面鈍化作用，減少了電子空穴重新結合的機會，使得最終光電轉化效率得以提高。同時無需像傳統光伏電池那樣在上表面再添加一層防反射材料。
- 專利類型發明專利
- 申請人張家港費曼光電科技有限公司;劉鋼;
- 發明人劉鋼;
- 地址215600 江蘇省張家港國泰北路1號留學生創業園A棟137-138室
- 申請號CN201210057146.0
- 申請時間2012年03月05日
- 申請公布號CN103296134A
- 申請公布時間2013年09月11日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;
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