摘要：本發明公開了一種氧化爐爐門的開關控制方法，其包括爐門到達開關動作的預設行程終點，判斷對應的接近開關是否被觸發；爐門向開關動作的反方向運動，判斷該接近開關是否被取消觸發；爐門向開關動作的正方向運動，判斷該接近開關是否被觸發，若是，則判斷該接近開關無故障，該爐門開關動作完成。本發明通過接近開關的觸發、取消觸發和再次觸發三步法，來確認接近開關是否有故障，避免了系統錯誤辨別爐門狀態而導致后續發生碰撞的可能性，提高了半導體制造設備的安全性和可靠性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張海輪;周峰;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410174332.1
- 申請時間2014年04月28日
- 申請公布號CN103925795B
- 申請公布時間2015年07月15日
- 分類號F27D1/18(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I;
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