摘要：本發明包括一種在襯底上制造有機/無機復合納米結構的方法，包括：使用浸沾筆納米刻蝕，在襯底上沉積具有嵌段共聚物和無機前驅體的溶液。該納米結構包括具有寬度/直徑小于1微米的點和/或線的陣列。本發明還包括一種器件，該器件包括有機/無機復合納米級區域，其中該納米級區域除了高度之外具有納米級尺寸。
- 專利類型PCT發明
- 申請人西北大學;
- 發明人查德·A·米爾金;維納亞克·P·德拉維德;蘇明;劉曉剛;
- 地址美國伊利諾伊州
- 申請號CN02827280.3
- 申請時間2002年12月17日
- 申請公布號CN100345059C
- 申請公布時間2007年10月24日
- 分類號G03F7/00(2006.01);B82B3/00(2006.01);
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