摘要：一種真空陰極電弧蒸發源的氣動式引弧裝置，包括引弧針、活塞延伸桿、活塞組件、密封絕緣件、動密封、動密封壓墊、活塞組件支撐件，所述動密封壓墊被所述活塞組件支撐件壓緊在所述動密封上，還包括金屬的引弧器底座，所述引弧器底座通過其中部套孔套裝在所述活塞延伸桿上并與電弧蒸發源連接法蘭固定連接，所述密封絕緣件夾裝在所述引弧器底座與電弧蒸發源連接法蘭之間，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封絕緣件與所述活塞延伸桿之間、用于隔開它們的凸起，所述活塞組件支撐件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述動密封嵌裝在所述引弧器底座的前端面內。本發明能減少不良品率，降低生產成本。
- 專利類型發明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523838 廣東省東莞市大嶺山顏屋村第四工業區
- 申請號CN201210514559.7
- 申請時間2012年12月04日
- 申請公布號CN103114270A
- 申請公布時間2013年05月22日
- 分類號C23C14/32(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
