摘要：本發明公開了一種組合磁場的矩形平面陰極電弧蒸發源，包括一矩形靶材平板，在靶材平板的正下方、間隔所述靶材平板一段距離處設有一中軸永磁體、四個端角永磁體和至少兩個長圓形電磁線圈，所述電磁線圈沿所述靶材平板邊緣平行環套設置且通過導線連接可調直流電源，其四個端角處分別設置有一所述端角永磁體，其中，最內側的電磁線圈的內側、沿其長軸方向設有所述中軸永磁體，所述中軸永磁體、端角永磁體和電磁線圈所形成的磁場的極性一致。本發明提供了一種無論磁化電流是否變化都能實現靶材利用率高、形成的膜層細膩的陰極電弧蒸發源。
- 專利類型發明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523838 廣東省東莞市大嶺山顏屋村第四工業區
- 申請號CN201110425157.5
- 申請時間2011年12月19日
- 申請公布號CN102534513B
- 申請公布時間2014年04月16日
- 分類號C23C14/32(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;
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