摘要：本發明屬于物理氣相沉積技術領域，特別涉及一種電磁加速聯合等離子體輔助增強電子束物理氣相沉積系統。在真空室內設置上極板和下極板，在上極板的下方位置安裝試樣，在試樣和下極板之間設置柵極；在沉積料棒周圍設置環形的氣體管道，在氣體管道的內圈設置的冷卻水管道；其中，上極板和下極板為正電極，柵極為負電極。該設備能夠使被蒸發的氣態材料具有一定的沉積速率和較好的指向性，從而能夠有效地提高電子束物理氣相沉積技術的沉積速率和沉積效率，進而提高涂層與基體的結合強度，另外，對于多坩堝條件下的沉積，如果為了獲得某些特定區域的沉積涂層或者為了獲得復合涂層，將會同過磁場改變粒子的行進路線，從而更好的沉積效果。
- 專利類型發明專利
- 申請人華北電力大學;
- 發明人張東博;
- 地址102206 北京市昌平區朱辛莊華北電力大學
- 申請號CN201110326518.0
- 申請時間2011年10月24日
- 申請公布號CN102383096B
- 申請公布時間2014年07月09日
- 分類號C23C14/32(2006.01)I;
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