摘要：本發明公開了一種多層結構的納米復合刀具涂層及其制備方法。一種多層結構的納米復合刀具涂層，其特征在于，包括依次沉積于刀具基體表面的CrN結合層、AlTiN過渡層、AlTiN/TiSiN支撐層和TiSiN功能層；所述CrN結合層的厚度為0.1～0.5μm；所述AlTiN過渡層的厚度為0.5～3μm；所述AlTiN/TiSiN支撐層為TiSiN和AlTiN周期性交替沉積結構，每一周期TiSiN和AlTiN交替沉積厚度稱為調制周期且為0.1～1μm，交替沉積次數為1～30次；所述TiSiN功能層厚度為0.5～3μm。上述多層結構的納米復合刀具涂層具備較高硬度及很好耐磨性能。
- 專利類型發明專利
- 申請人科匯納米技術（深圳）有限公司;廣東工業大學;
- 發明人郭光宇;王成勇;陳金海;鐘偉強;鄭李娟;
- 地址518000 廣東省深圳市寶安區福永街道橋頭社區重慶路2號第2棟第二層廠房
- 申請號CN201510549033.6
- 申請時間2015年08月31日
- 申請公布號CN105112858A
- 申請公布時間2015年12月02日
- 分類號C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I;
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