摘要：本實用新型公開一種0.1μm分辨率三坐標測量機，包括：載物平臺、主動活動臂、從動活動臂、鋼帶絕對光柵尺、讀數頭和水平橋，所述主動活動臂、從動活動臂分別設置于載物平臺兩側，所述主動活動臂、從動活動臂各自的上端之間固定有所述水平橋，此水平橋位于載物平臺正上方；所述鋼帶絕對光柵尺安裝于機床上且其與沿x向方向平行設置，所述讀數頭設在工作臺上，所述鋼帶絕對光柵尺與工作臺運動方向平行，所述讀數頭隨所述工作臺移動，并通過位于讀數頭內部的光電傳感器掃描所述鋼帶絕對光柵尺上的增量光柵獲得位移量，所述增量光柵中穿插有若干個絕對參考點。本實用新型有效消除往復測量誤差和機械配合誤差，同時因使用光掃描測量法而具備良好的抗污染能力和長期穩定性。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州怡信光電科技有限公司;
- 發明人陸慶年;陳易輝;
- 地址215151 江蘇省蘇州市新區楓橋工業園前橋路288號
- 申請號CN201520692789.1
- 申請時間2015年09月09日
- 申請公布號CN204881519U
- 申請公布時間2015年12月16日
- 分類號G01B11/00(2006.01)I;
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