摘要：本實用新型公開了一種直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，包括安裝底座和掃描臺面，所述掃描臺面兩側分別設置有縱滑塊，所述安裝底座上設置有與縱滑塊一一對應的縱滑軌，所述掃描臺面的底面為傾斜面，掃描臺面的底面上設置有若干斜滑軌，安裝底座的上平面上設置有若干橫滑軌，掃描臺面和安裝底座之間設置有一個楔形滑塊，該楔形滑塊的上端面上設置有與各個斜滑軌相配合的斜滑槽，楔形滑塊的底面設置有與各個橫滑軌相配合的橫滑槽，所述安裝底座上還設置有一套連接楔形滑塊的驅動裝置，該驅動裝置驅動楔形滑塊沿橫滑軌來回滑動，楔形滑塊通過與斜滑軌滑動配合的斜滑槽帶動掃描臺面沿縱滑軌上下滑動，實現了掃描臺面可升降的技術效果。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州微影光電科技有限公司;
- 發明人王友車;張國龍;朱亮;薛業保;吳斌;成超;
- 地址215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮海壩路蘇州微影光電科技有限公司
- 申請號CN201520476222.0
- 申請時間2015年07月03日
- 申請公布號CN204759018U
- 申請公布時間2015年11月11日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;
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