摘要：本發明公開了極紫外光源中一種用于提高光源極紫外輻射轉換效率同時抑制離子碎屑的方法；主要是將極紫外光源的等離子體極紫外光輻射結束剩余的帶電粒子重新利用。主要實施方案為利用磁場將激發源與靶材作用后形成的上述所有帶電粒子回轉到激發源與靶材的作用點重新被作用。該方法由于重新利用了已經處于電離狀態的離子，這些離子更容易被較低能量的激光進一步電離而達到能夠輻射出極紫外光的價態；提高了激發源能量的利用率。光源極紫外輻射的轉換效率將得到顯著提升；由于這些帶電粒子被重新利用，它們中的大部分將不再能夠到達極紫外光源的系統元件。這將能夠大大的減少這些粒子對光源系統元件的損傷，從而提升系統元件的使用壽命。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人陳鴻;王新兵;朱海紅;左都羅;陸培祥;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201310522316.2
- 申請時間2013年10月29日
- 申請公布號CN103592822B
- 申請公布時間2015年06月10日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;H05G2/00(2006.01)I;
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