<acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
      <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

      <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
      <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
      <td id="pokdi"></td>

        1. 首頁
        2. 裝備資訊
        3. 熱點專題
        4. 人物訪談
        5. 政府采購
        6. 產品庫
        7. 求購庫
        8. 企業庫
        9. 品牌排行
        10. 院校庫
        11. 案例·技術
        12. 會展信息
        13. 教育裝備采購網首頁 > 知識產權 > 專利 > CN104007620A

          一種新型高速數字掃描直寫光刻裝置

            摘要:本發明公開了一種高速數字掃描直寫光刻裝置,包括光源,光學照明系統,可編程圖形發生器,投影光學系統,高速精密移動平臺等五部分。曝光光束從光源發出,進入光學照明系統,準直成平行均勻的面光源投影至可編程圖形發生器,而此時可編程圖形發生器上的圖形信息伴隨光線進入投影光學系統,曝光光線穿過投影光學系統,最后投影成像在高速精密移動平臺的基底上。本發明可以省去掩膜版或菲林版的加工工序,并能數十倍的提升可編輯圖形發生器的刷新頻率,從而提高產品的加工速率,改善了產品加工的良率。制作工藝簡單,降低了產品的生產成本。
          • 專利類型發明專利
          • 申請人蘇州微影光電科技有限公司;
          • 發明人李平貴;張國龍;馬迪;
          • 地址215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮海壩路蘇州微影光電科技有限公司
          • 申請號CN201410190903.0
          • 申請時間2014年05月08日
          • 申請公布號CN104007620A
          • 申請公布時間2014年08月27日
          • 分類號G03F7/20(2006.01)I;
          99久久国产自偷自偷免费一区|91久久精品无码一区|国语自产精品视频在线区|伊人久久大香线蕉av综合

            <acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
              <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

              <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
              <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
              <td id="pokdi"></td>