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          精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法

            摘要:本發明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置,包括增壓泵;初級熱交換器,其浸液入口與增壓泵出口連通,浸液在其中進行熱交換,實現浸液溫度的初級調控;次級熱交換器,其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通,浸液在其中進行再次熱交換,實現浸液溫度的次級調控;流量伺服閥,其入口與初級熱交換器浸液出口連通,與次級熱交換器形成并聯,用于調節進入次級熱交換器的浸液流量。通過協調控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量,并結合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調節,可實現對浸液溫度的兩級調控,從而獲得溫度穩定且精確的浸液以用于浸沒式光刻工藝。
          • 專利類型發明專利
          • 申請人華中科技大學;
          • 發明人李小平;紀輝強;石文中;
          • 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
          • 申請號CN201410199568.0
          • 申請時間2014年05月12日
          • 申請公布號CN103969965B
          • 申請公布時間2015年11月18日
          • 分類號G03F7/20(2006.01)I;G05D23/30(2006.01)I;
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