摘要：本實用新型涉及半導體領域，具體涉及一種尾氣冷卻裝置，該裝置包括：冷卻外罩、尾氣輸送管道、障礙物，其中：障礙物安裝在尾氣輸送管道中。本實用新型解決了由于冷卻裝置比較短小，加之尾氣氣流速度快，因此熱交換效率低，實際冷卻效果不好的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人盧言曉;董金衛;楊帥;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320844137.6
- 申請時間2013年12月19日
- 申請公布號CN203744772U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號F28D7/10(2006.01)I;F28F9/24(2006.01)I;
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