摘要：一種大尺寸光柵制造設備，屬于高精度自動化刻蝕設備技術領域。X軸直線電機驅動被加工工件以極低速連續運動或納米級定位運行，Z軸直線電機驅動化學涂膠或光刻處理盒運動，調節化學涂膠或光刻處理盒與被加工工件之間的距離。整機振動頻率在10Hz以下，消除了設備自身振動及環境的振動噪聲影響。被加工工件以極低速平穩運行時，CNC數控裝置控制化學涂膠或光刻處理盒進行高質量連續均勻地鍍膜。直線電機驅動被加工工件以納米級定位精度極低速運行時，CNC數控裝置控制化學涂膠或光刻蝕處理盒進行激光直寫式或小尺寸激光干涉式刻蝕工作，在被加工工件的加工面刻蝕出高質量高密度的周期性納米溝槽。本實用新型結構簡單，提高了大尺寸微納米結構的制造效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人嘉興華嶺機電設備有限公司;
- 發明人伍鵬;
- 地址314006 浙江省嘉興市凌公塘路3339號6號樓1樓
- 申請號CN201320837321.8
- 申請時間2013年12月17日
- 申請公布號CN203630384U
- 申請公布時間2014年06月04日
- 分類號G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B23K26/362(2014.01)I;
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