摘要：本實用新型涉及半導體加工技術領域，公開了一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架，調整熱偶支撐架高度的升降機構，支撐升降機構的支撐腿，所述支撐腿與升降機構均連接在支撐動平臺上，所述支撐腿為三個連桿，所述連桿一端與所述支撐動平臺可轉動連接，所述連桿的另一端與傳動部件可轉動連接。本實用新型熱偶升降裝置可對熱偶進行三個方向的移動，節約人力，操作方便。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人郝琪;林欣家;董金衛;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320471430.2
- 申請時間2013年08月02日
- 申請公布號CN203465015U
- 申請公布時間2014年03月05日
- 分類號G01K1/14(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I;
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