摘要：本實用新型涉及半導體工藝熱處理領域，尤其是涉及一種爐體排風控制裝置，包括氣壓驅動單元、開關機構和風口結構單元，所述的開關機構設置有開關主體，所述的氣壓驅動單元可驅動該開關主體，使該開關主體直線往復運動，從而執行對風口結構單元的開啟和關閉動作。本實用新型對爐體排風的開關機構進行有效控制，使爐體排風控制可靠安全；同時能夠有效阻擋爐體熱量的逸出，具有良好的隔熱效果；本實用型新的爐體排風控制裝置結構簡單，能夠進行精確運作，且成本較低。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人孫少東;董金衛;趙燕平;鐘華;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201220499383.8
- 申請時間2012年09月27日
- 申請公布號CN202869292U
- 申請公布時間2013年04月10日
- 分類號F27D19/00(2006.01)I;
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