摘要：本發明涉及一種熱處理設備的爐門控制機構，屬于半導體臥式熱處理設備技術領域，通過設置動力驅動裝置、傳動裝置以及控制單元，利用花鍵軸套以及花鍵軸承之間的傳動作用，實現帶動爐門旋轉與升降的功能。本發明提供的爐門控制機構，可靈活控制爐門的動作，操作方便，密封性能好，避免了熱處理設備大量散熱以及熱輻射的問題，節約了成本，進而提高了半導體臥式熱處理設備的工藝效率和機構的可靠性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人賀小平;桂曉波;王廣明;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510010056.X
- 申請時間2015年01月08日
- 申請公布號CN104596314A
- 申請公布時間2015年05月06日
- 分類號F27D19/00(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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