摘要：本實用新型公開了一種基于新型傳感器的流量調節系統，包括分流器，分流器的分流支路上設有流量傳感器，流量傳感器為MEMS流量傳感器，MEMS流量傳感器內設有溫度檢測單元。響應時間快、重復性好、成本低，當需要涉及氣體單一、精度要求低、氣壓要求低、響應時間快的情況時，可以大大降低成本、增大使用范圍。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人吳薇;胡蕾;黃文填;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201120462769.7
- 申請時間2011年11月18日
- 申請公布號CN202404454U
- 申請公布時間2012年08月29日
- 分類號G05D7/06(2006.01)I;
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