摘要：本發明涉及一種氣體質量流量控制系統，包括：氣體質量流量控制器，其與一氣體管路連接，用于計量或控制流經氣體管路的氣體質量或流量；能量捕獲裝置，用于捕獲氣體質量流量控制系統周圍環境中的機械能量；以及，能量存儲裝置，其一端連接能量捕獲裝置，用于存儲捕獲的機械能量，其另一端與氣體質量流量控制器連接，用于向氣體質量流量控制器供電。其不需外部電源供電，簡化了系統、有利于降低設備故障率；且節約了能源、低碳環保，便于在行業內推廣應用。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人杜井慶;李甲;胡蕾;牟昌華;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201310750547.9
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN103728991B
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號G05D7/06(2006.01)I;H02N2/18(2006.01)I;
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