摘要：本實用新型公開了一種多晶硅制絨槽，包括：反應槽(2)、外槽(1)、安裝在所述反應槽(2)上的進液管路、和安裝于所述外槽(1)上的溢流管路，所述反應槽(2)部分置于所述外槽(1)中，所述進液管路上設有調節閥，可對反應槽(2)進液量進行控制，并通過在外槽(1)上設置液位傳感器，使外槽(1)的溢流量可根據外槽(1)的進液量的大小自行進行相應的調節。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人于皓潔;張琳;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201020629838.4
- 申請時間2010年11月23日
- 申請公布號CN201864794U
- 申請公布時間2011年06月15日
- 分類號C30B33/10(2006.01)I;
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