摘要：本實用新型公開了一種太陽能硅電池濕法刻蝕機快拆式回流管路裝置，包括槽體，其特征在于：所述槽體上地板設有回流定位槽，回流定位槽上設有快拆封板，所述槽體回流側板構成的上浸泡區域底部設有回流管。本實用新型的有益效果是：使得管路在維護過程中的可操作性得到顯著的改善，減少維護成本且縮短維護時間，并且可以調整藥液局部濃度。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州晶洲裝備科技有限公司;
- 發明人施利君;張強;
- 地址215555 江蘇省常熟市辛莊光伏產業園光華環路32號
- 申請號CN201220111864.7
- 申請時間2012年03月21日
- 申請公布號CN202643916U
- 申請公布時間2013年01月02日
- 分類號C30B33/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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