摘要：本發明屬于鍍膜技術領域，具體地說是一種可自鎖的基片擋板組件。包括大基板擋板、中間軸、主動軸及驅動機構，其中大基板擋板和中間軸設置于真空腔體內，所述大基板擋板設置于中間軸的上端，中間軸的下端端部為斜面I，所述主動軸的一端與驅動機構連接，另一端為與中間軸下端端部的斜面I相對應的斜面II、并插入真空腔體內，所述主動軸與真空腔體下端的真空室大法蘭轉動連接，主動軸的另一端上套設有套筒，所述中間軸的下端端部的斜面I插入所述套筒內、并與主動軸另一端的斜面II相配合；所述主動軸通過驅動機構驅動旋轉、并通過摩擦傳遞帶動中間軸旋轉，中間軸和主動軸通過摩擦角實現自鎖。本發明把基片擋板組件的中間軸和下面主動軸通過摩擦傳遞轉動，可實現有效自鎖。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人郭東民;劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街一號
- 申請號CN201210590798.0
- 申請時間2012年12月29日
- 申請公布號CN103045994B
- 申請公布時間2014年08月06日
- 分類號C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;
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