摘要：本實用新型公告了一種三維調節座，包括X向微調組件、Y向微調組件和Z向微調組件、固定座、關節軸承；所述X向微調組件與關節軸承內圈固定連接，所述關節軸承外圈與固定座連為一體，所述X向微調組件一端用于固定待調節物、另一端為X向調節器，所述Y向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Y向調節器，所述Z向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Z向調節器。本實用新型結構簡單、靈敏度高、定位精度高。
- 專利類型實用新型
- 申請人深圳市矽電半導體設備有限公司;
- 發明人王勝利;康春鳳;劉振輝;
- 地址518000廣東省深圳市龍崗區留學生創業園1棟412室
- 申請號CN200820095791.0
- 申請時間2008年07月25日
- 申請公布號CN201233886Y
- 申請公布時間2009年05月06日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I;
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