摘要：本發明公開了一種半導體晶圓片多路測試方法，由探針臺主機控制多路切換器，使測試機的測試頭依次與各組測試探針連接。還公開了一種多路測試探針臺，其探針臺主機嵌入有多路測試及通信軟件；測試探針頭是多芯片測試探針頭，其上設有可以同時與多個芯片連接的多組測試探針；作標記裝置是多路作標記裝置，由探針臺主機控制給測試出的不合格芯片作標記；還設有路數與多芯片測試探針頭的測試探針數量相同的多路切換器，多路切換器通過另一控制線與測試探針頭相連接，將測試機的測試頭與各路對應的多芯片測試探針頭的一組測試探針分別連通。本發明可在探針臺主機的一個運動周期內完成至少兩個待測半導體芯片的測試，比較顯著地提高測試速度和效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市矽電半導體設備有限公司;
- 發明人楊波;
- 地址518119廣東省深圳市龍崗區中心城清林西路龍崗留學生創業園一園南區412室
- 申請號CN200510102170.1
- 申請時間2005年12月05日
- 申請公布號CN100395879C
- 申請公布時間2008年06月18日
- 分類號H01L21/66(2006.01);G01R1/073(2006.01);G01R31/26(2006.01);
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
