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          二維位移傳感器及應用的大量程表面形貌測量裝置

            摘要:本發明公開了一種二維位移傳感器及應用的大量程表面形貌測量裝置,它包括固定支架(1),在固定支架(1)上通過平行簧片(2)連接有可動支架(3),2個支架之間安裝有水平位移傳感器(11),可動支架(3)上安裝杠桿(5),杠桿(5)的一端固定觸針(6),杠桿(5)的另一端與可動支架(3)之間安裝有垂直位移傳感器(8)。本發明的主傳感器測量觸針垂直方向的位移的同時,輔助傳感器可以檢測出觸針的水平偏移,使觸針在每一個采樣間隔中都能順利地劃過陡峭輪廓表面。具有能夠使觸針順利劃過陡峭輪廓表面,對各種復雜表面進行大量程和高精度測量,測量誤差小等優點,適合于各種復雜表面輪廓的測量。
          • 專利類型發明專利
          • 申請人貴州大學;
          • 發明人楊旭東;王生懷;李家春;謝鐵邦;
          • 地址550003貴州省貴陽市蔡家關貴州大學科技處
          • 申請號CN200610201125.6
          • 申請時間2006年11月21日
          • 申請公布號CN100432618C
          • 申請公布時間2008年11月12日
          • 分類號G01B7/28(2006.01);G01B5/20(2006.01);G01B21/20(2006.01);G01C7/02(2006.01);
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