摘要：本發明公開了一種基于垂直位移掃描的非接觸式表面形貌測量方法及其裝置，它采用計算機驅動工作臺垂直位移來進行測量，并掃描和采集工作臺垂直移動的距離作為測量數據，輸入計算機中作為該X-Y-Z坐標上采集到的Z坐標，通過移動工作臺，重復采集多個坐標的測量數據，經過計算機處理后即可得到測量的工件表面形貌。本發明將聚焦物鏡位置固定，通過移動工作臺來測量數據，大大提高了測量的精度。從而真正實現了高精度、大量程的非接觸測量，并且具有速度快、性價比高的特點。本發明可對不同材料構件的輪廓尺寸、形狀、波度及表面粗糙度的二、三維非接觸式綜合測量。
- 專利類型發明專利
- 申請人貴州大學;
- 發明人楊旭東;陳育榮;謝鐵邦;李屹;
- 地址550003貴州省貴陽市蔡家關貴州大學科技處
- 申請號CN200610200070.7
- 申請時間2006年01月23日
- 申請公布號CN100483071C
- 申請公布時間2009年04月29日
- 分類號G01B21/20(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;
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