摘要：本發明公開了一種半導體工藝的報警處理方法，用于對半導體處理工藝的各工藝步驟所產生的不同報警事件進行相應的處理，所述報警處理方法包括對于每一個所述報警事件根據不同的所述工藝步驟設定對應的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報警事件所對應的組別不完全相同；根據發生報警事件的工藝步驟獲得該報警事件所對應的組別；以及以該組別所對應的處理方式進行處理。本發明還提供了一種報警處理系統，能夠根據實際情況在不同工藝步驟中對同一報警事件進行區別對待，提高半導體工藝的成功率。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張立超;劉建濤;鐘結實;王亞寧;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410058336.3
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103794024A
- 申請公布時間2014年05月14日
- 分類號G08B21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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