摘要：一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統，其中的裝置包括：過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點開始產生同步信號，并將產生的同步信號輸出給控制單元；控制單元，從同步信號的上升沿到達時刻開始對信號進行可編程延時產生延時同步信號并控制數模轉換單元輸出與延時同步信號同步的數字量的掃描信號。利用過零點進行掃描信號和電網工頻的同步不會由于電網電壓波動而產生相移，從而保證了掃描信號和電網工頻的良好同步，輸出掃描信號不受電網電壓波動的影響。由于控制單元對同步信號進行了編程延時，經過延時后的掃描信號起點能夠避開由于電網電壓過零而導致電路噪聲較大的時刻，掃描信號與電網工頻的同步性更好，對電網電壓的抗干擾性和對電路噪聲的抗干擾性更好。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人王大千;韓勇;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201310444740.X
- 申請時間2013年09月26日
- 申請公布號CN103700563A
- 申請公布時間2014年04月02日
- 分類號H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;
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