摘要：一種角度掃描光發射電子顯微成像系統及其方法，包括光束掃描系統、電子顯微系統和控制系統；所述光束掃描系統包括激發光源、整形鏡、聚焦鏡、振鏡和成像鏡；所述整形鏡位于所述第一真空腔體內部，用于對所述激發光源發射的激發光進行整形，激發光經過整形匯聚后在所述整形鏡的焦點a處形成聚焦光斑；所述聚焦鏡、所述振鏡位于所述第一真空腔體內部，用于將聚焦光斑成像并投射至所述振鏡反射鏡旋轉中心處；所述成像鏡位于所述第一真空腔體內部，用于將經過所述振鏡的反射光成像到被測樣品的表面。本發明提供的角度掃描光發射電子顯微成像系統及其方法能實現快速、精確的角度掃描，重復定位精度高，觀測效果好。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人耿俊清;李奇志;張軍安;孫占峰;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201310395592.7
- 申請時間2013年09月03日
- 申請公布號CN103426709A
- 申請公布時間2013年12月04日
- 分類號H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;
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