摘要：本發明公開了一種多層存儲臺裝置，其調平底座包括位于下層的支撐板，位于上層的調節板，設于支撐板和調節板之間的調平部件，以及固定支撐板和調節板的鎖緊部件；其支撐腳支撐為成對的支撐腳支撐架，調節板通過一對相向設置的連接側板與所述支撐腳支撐架固接，支撐腳支撐架在連接側板的內側可沿豎直方向相向多層設置；每層支撐腳支撐架的上表面設有若干個支撐腳。本發明可使晶圓得以多層存儲，提高機械手的利用率，增加生產產量，具有結構簡單、易實現、可節省設備占地面積的顯著特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人李廣義;王銳廷;趙宏宇;張豹;裴立坤;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410001185.8
- 申請時間2014年01月02日
- 申請公布號CN103693343A
- 申請公布時間2014年04月02日
- 分類號B65G1/02(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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