摘要：本發明公開了一種新的表面等離子體透鏡的批量化制備方法，屬于微/納光子器件領域。該方法首先在基底旋涂納米球排列形成的單層自組裝結構；對納米球的直徑進行調整后，淀積第一層金屬薄膜，去除基底上的納米球及金屬薄膜后，得到完全由納米孔組成的結構陣列；旋涂光刻膠并圖形化得到圓形凸臺，以此定義透鏡孔徑以及透鏡陣列的排布形式；淀積第二層金屬薄膜；去除光刻膠及金屬薄膜，得到最終的表面等離子體透鏡。本方法采用基于旋涂法的納米球光刻技術，具備圓片級的加工能力，可與標準的微/納加工工藝集成，極大提高工藝效率、縮減工藝成本；同時，組成透鏡的納米孔尺寸可通過調整納米球直徑來控制，進而對器件的透過率實現調制。
- 專利類型發明專利
- 申請人西北工業大學;
- 發明人虞益挺;苑偉政;
- 地址710072 陜西省西安市友誼西路127號
- 申請號CN201310285392.6
- 申請時間2013年07月08日
- 申請公布號CN103345009A
- 申請公布時間2013年10月09日
- 分類號G02B3/00(2006.01)I;
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