摘要：本發明為高集成度和實用性的干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法和測試系統，通過組建的模擬真空室，集成了氣、液、電、磁、熱、粉塵、腐蝕性等多種干式真空泵應用環境中常見的元素，使用多種傳感器對同時具有溫度、濕度、氣體成分、實時圖像、壓力、流量和噪聲等信號進行反饋，并通過多個控制系統進行監控，對干式真空泵抽氣工藝適應情況進行檢驗和完善。本發明的測試系統采用嚴格的污染物收集和接駁處理，并具有危險示警和自動保護功能系統，具有安全性、智能性、綠色環保的特點和良好的可重復性，可以模擬包括輸送、物理氣相沉積、化學氣相沉積、刻蝕、光刻、化工、制藥等在內的清潔、輕度污染、中度污染和重度污染真空環境的真空泵抽氣工藝環境。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人張振厚;王光玉;劉坤;孔祥玲;張曉玉;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街1號
- 申請號CN201310572691.8
- 申請時間2013年11月15日
- 申請公布號CN104632604A
- 申請公布時間2015年05月20日
- 分類號F04B51/00(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
