摘要：本發明提供一種模塊化硅片清洗系統，其包括：傳片區、工藝區和化學藥液分配區，所述傳片區包括第一機械手、硅片盒、第一主體骨架以及分別設于第一主體骨架上的第一機械手直線運動單元和硅片裝載埠；所述工藝區包括第二機械手、第二主體骨架、以及分別設于第二主體骨架上的第二機械手直線運動單元、工藝清洗腔室；所述第二主體骨架與第一主體骨架可拆卸連接；所述化學藥液分配區包括第三主體骨架和設于第三主體骨架上的輸液管路，所述第三主體骨架與第二主體骨架可拆卸連接。本發明提供的模塊化硅片清洗系統由于各組成部分能夠獨立地安裝及拆卸，從而使該硅片清洗系統功能多樣，能夠滿足各種不同的清洗工藝，且能夠實現更復雜的功能。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人朱攀;賈星杰;趙宏宇;裴立坤;徐俊成;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210553009.6
- 申請時間2012年12月18日
- 申請公布號CN103028568A
- 申請公布時間2013年04月10日
- 分類號B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;
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