摘要：本發明公開了一種化學液混合裝置及方法，所述化學液混合裝置包括：化學液返回管、化學液回收管、補充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學液返回管、化學液回收管和補充液輸出管的輸出端連接為一個第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。本發明提供的化學液混合方法及裝置，可以有效解決現有半導體工藝設備中存在的補液不均勻問題，結構簡單，易于實現。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人何金群;劉福生;王銳廷;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210350984.7
- 申請時間2012年09月19日
- 申請公布號CN102847480B
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號B01F13/10(2006.01)I;B01F3/08(2006.01)I;
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