摘要：本發明涉及一種清洗藥液的復合溫度控制方法，屬于自動化控制技術領域。為提高藥液溫度控制方法的抗擾動能力，該方法包括：在藥液存儲槽底部位置及工藝清洗供液出口處各自設置溫度傳感器；在加熱器及工藝清洗供液出口處分別設置內環PID控制器及外環PID控制器；控制加熱器加熱藥液存儲槽，使存儲槽內藥液溫度達到目標溫度值；當藥液達到目標溫度值并穩定后，進行清洗藥液供給，同時控制加熱器加熱功率使供液溫度穩定保持為供液目標溫度值。該方法可以有效克服因清洗藥液回收、補液或加熱器前端管路因素所引起的供液出口處的供液溫度的擾動；通道中主回路和副回路采用異步采樣，副回路可快速抑制擾動，且溫度信號不會過于靈敏而導致噪聲太多。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人李曼;李春彥;馬嘉;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110145398.4
- 申請時間2011年05月31日
- 申請公布號CN102218412A
- 申請公布時間2011年10月19日
- 分類號B08B3/10(2006.01)I;G05D23/00(2006.01)I;
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