摘要：本發明公開了一種探針式輪廓儀形貌測量動態誤差的控制方法，涉及探針式輪廓儀形貌測量領域，以下步驟，(1)、確定輪廓儀形貌測量基本參數；(2)、構建測量力模型以及測量力分析；(3)、構建探針跳動的動力學模型；(4)、被測工件形貌測量的仿真；(5)、根據測量要求，優化選擇測量速度與工件裝夾高度。本發明不需要修改輪廓儀的硬件結構，針對具體的被測工件和測量要求設置掃描速度與工件的裝夾高度，實現對測量動態誤差和測量力的優化控制。
- 專利類型發明專利
- 申請人四川大學;
- 發明人許斌;劉乾乾;趙世平;
- 地址610065 四川省成都市武侯區一環路南一段24號
- 申請號CN201610312680.X
- 申請時間2016年05月12日
- 申請公布號CN105841658A
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號G01B21/20(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I;
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