繼曲面之后,推出了折疊式的智能手機,目前這種形態因素競爭為市場的焦點。三星電子的Galaxy Fold和Galaxy Z Flip采用了畫面內折的形態因素,華為的Mate X采用了外折的新Out Folding形態因素。另外,還公開了超越這些顯示屏的內外折疊,兩次、三次折疊的滾筒式效果。
柔性顯示是由柔性基板上增加驅動元件,標識元件,再有為了保護這些元件的封裝膜來構成?,F有,為形成折疊顯示的封裝膜適用了有/無機疊層構造的封裝技術,無機膜使用了PECVD方式。
用機械連續施壓后,像脆性比較弱的無機膜封裝特性會下降,所以柔性顯示開發初期本公司適用了厚度比較薄,且封裝出色的ALD封裝技術。結果對于ALD設備的信賴度及量產性的疑點,所以沒有實現生產。
但,因原子層沉積無機膜的出色封裝特性,迄今為止大學,研究所,相關顯示企業還在使用ALD技術(無機膜)進行數十萬次的折疊等研究及評價。
購買NCD大面積 ALD 沉積設備( Lucida GD Series)的客戶對于柔性顯示也在使用代替PECVD無機膜的ALD Al2O3無機膜來評價folding來實際確認顯示器件是否正常動作。In-folding和 Out-folding用顯示器件是5.85英寸AMOLED面板,封裝膜構造為30nm Al2O3 ALD/ 8?-Polyer/ 30nm Al2O3構成。進行了RA 60℃/90% for 500hr的信賴性評價后,在2R 顯示開啟狀態進行20萬次的In-folding和Out-folding的評價。Folding評價時顯示器件無黑點等問題, Folding評價進行后,再次進行第二次RA 60℃/90% for 48hr的信賴性評價,之后觀察TFE(Thin Film Encapsulation)狀態。雖然進行了2測的信賴性評價及20萬次的Folding,結果TEF上沒有發現裂痕。
為了適用折疊手機,使用NCD的大面積原子層沉積設備,可適用薄的無機膜來實現比之前更好的封裝特性,還可以同時進行多個顯示器件的沉積作業來減少生產時間。
因此,為了滿足比現在的折疊式手機更小的曲率半徑,in/out-folding都需要的未來平板顯示器的封裝膜,NCD的大面積ALD設備就是解決方案。