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HPR100 ICP－等離子體工作站
簡介:HidenHPR100ICP等離子體工作站（ICPplasmaworkstationwithEQPionmass/energyanalyser），完整的RF-ICP反應器/等離子體分析系統，可研究全部的等離子體過程，對射頻等離子體過程中的所有種類進行組合式的質量/能量分析。應用：等離子體/反應性離子蝕刻研究CVD/PVD/MOCVD表面修飾真空...
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PSM 等離子體質量和能量分析儀
簡介:PSM是一臺差式泵質譜儀（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。應用：離子束蝕刻等離子體沉積研究離子植入/激光燒蝕殘余氣體分析泄漏檢測特點：差式泵歧管，通過法蘭與過程反應室連接靈敏度高/極穩定的3級過濾四極...
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朗繆爾探針（Langmuir Probe）
簡介:ESPion朗繆爾探針AdvancedLangmuirProbes儀器介紹ESPion朗繆爾探針（AdvancedLangmuirProbesforElectricalPlasmaCharacterisation）可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷，是可靠的朗繆爾探針（LangmuirProbe）。主要特點獲得數據速度：每秒15次掃描，通過D-O-E-界面可以自動、半...
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等離子體質量和能量分析儀EQP
簡介:EQP等離子體質量和能量分析儀MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics儀器介紹HidenEQP是一臺結合質量和能量分析的儀器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。主要特點·軟件控制的離子汲取光學系統，以使等離子...
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