朗繆爾探針（Langmuir Probe）

主要特點

　· 獲得數據速度：每秒15次掃描，通過D-O-E-界面可以自動、半自動或手動分析
　· Hiden在被動射頻補償方面處于地位，在所有的商業化探針中 ESPion 具有的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
　· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈，使用者可調諧至其他頻率
　· 參考探針補償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(例如，反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(例如，供電源引起)
　· ESPion 是所有商業化探針中快速的脈沖等離子體探針，ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路
　· 300、600、915mm 自動線性驅動器可選，互鎖隔離閥， 90°探針，組合式線性－旋轉驅動器可選
　· 自清洗循環，防止探針污染
　· 經由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制

應用：

　· 蝕刻/沉積/ 清潔等離子體
　· 脈沖等離子體操作
　· 離子密度 (Ni & Gi)
　· 電子溫度(Te)
　· 電子能量分布(EEDF)
　· 電子密度(Ne)
　· 等離子體電位
　· Debye 長度,懸浮電位