PSM 等離子體質量和能量分析儀

    PSM 是一臺差式泵質譜儀（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

應用：

    · 離子束蝕刻
    · 等離子體沉積研究
    · 離子植入 / 激光燒蝕
    · 殘余氣體分析
    · 泄漏檢測



特點：

    · 差式泵歧管，通過法蘭與過程反應室連接
    · 靈敏度高 / 極穩定的3級過濾四極桿，質量數范圍至2500
    · 脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態范圍
    · 能量分析選件，標準 ±100eV（1000eV可選 ）桿的偏壓掃描
    · 電子附著選件，具有可調諧的離子源，用于表觀電勢MS
    · Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
    · 信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布VS時間
    · 標準分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 離子分析可選
    · Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選， 高壓操作可選
    · 通過RS232、RS485或Ethernet LAN ，軟件MASsoft 控制