IGA-DSMS 吸附儀－動態采樣質譜儀系統

     HIDEN公司的動態取樣質譜儀 HPR20 與 IGA 系列吸附儀連接，可進行逸出氣體的分析及TPO、TPD、TPR的研究。在IGA操作軟件上進行同步的質譜數據記錄和顯示。

質譜儀技術規格：

         ·質量范圍：1～200amu或1～300amu
     　·檢測水平：ppm 或ppb
         ·2米可加熱毛細管取樣管和旁路歧管
     　·加熱的快速、直接進樣系統
     　·兩級旁路泵
     　·IGA 接口